| 专利名称 | 适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统 | 申请号 | CN201711393247.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108040415A | 公开（授权）日 | 2018.05.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 许吉禅;王亮;徐国盛;刘建斌;冯威 | 主分类号 | H05H1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统 至适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，包括有钨铜靶板和探针组件。钨铜靶板为钨片、无氧纯铜适应层和铬锆铜基座焊接而成，铬锆铜基座内被中间隔座隔分为两个水冷管道，水冷管道与连接铜管、进水铜管和出水铜管焊接连接而成。探针组件包括有探针头、前端陶瓷圈、铜连接件、后端陶瓷圈、弹簧垫圈、顶紧螺钉、接线螺钉和导线，安装于铬锆铜基座内的探针孔中，其中探针头可采用钨铜或纯石墨结构。本发明采用集成模块化结构，充分利用靶板空间，可整体拆装，无焊接固定结构，拆卸维修时对靶板无损坏的风险；探针系统结构简单、紧凑，空间分辨率更高；提高了探针系统测量精度。 |
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