| 专利名称 | 锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法 | 申请号 | CN201711099311.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107990838A | 公开（授权）日 | 2018.05.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;卢云君;王向朝;严焱;郭福东 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法 至锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台，和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束，待测光学元件是锥镜或柱面镜，待测光学元件安装在精密旋转台上，其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，从而测得该母线的面形信息，通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。 |
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