| 专利名称 | 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法 | 申请号 | CN201711302638.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107942426A | 公开（授权）日 | 2018.04.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 巴音贺希格;王玮;宋莹;姜珊;吕强;李文昊;刘兆武 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G02B5/32(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法 至一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法，用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法的结构包括光束宏动调整模块及光束微动调整模块，用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法步骤如下：激光束首先进入光束微动调整模块进行微动姿态稳定，由光束微动调整模块调整后的出射光束再通过分束光栅，分束光栅分束后的光束再进入光束宏动调整模块进行宏动姿态调整；光束宏动调整模块对激光束的指向进行精确定位调整，光束微动调整模块对激光束漂移进行实时纠正，以此有效的对扫描干涉场曝光激光束的姿态进行指向控制和抖动抑制，达到保证曝光激光束指向的精度与稳定性的目的，对扫描干涉曝光获取优质的全息光栅槽型提供有力保障。 |
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