| 专利名称 | 纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 | 申请号 | CN201710824969.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107620038A | 公开（授权）日 | 2018.01.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 孔明光;吴兵;刘玲 | 主分类号 | C23C14/20(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/20(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C14/46(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 至纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种纳米金属颗粒阵列结构的制备方法，属于纳米电化学技术领域，包括以下步骤：S1、选取离子溅射仪，安放在载样台上，矫正离子溅射仪；S2、以聚苯乙烯小球作为模板，以金属靶材为初始材料，将聚苯乙烯小球置于载样台上，旋转载样台，然后通电将金属靶材蒸镀到聚苯乙烯小球表面；S3、将蒸镀后的聚苯乙烯小球进行加热，升温至600?700℃保温，即在聚苯乙烯小球表面沉积纳米金属颗粒阵列；S4、溶解聚苯乙烯小球，即得到金属纳米颗粒有序阵列。该纳米金属颗粒阵列结构通过溅射旋转状态下的聚苯乙烯小球，以达到在聚苯乙烯小球表面镀膜的纳米颗粒阵列结构间距在20nm以下进行调整。 |
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