| 专利名称 | 一种半导体激光器及其制作方法 | 申请号 | CN201710897713.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107611775A | 公开（授权）日 | 2018.01.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 贾鹏;陈泳屹;秦莉;张建伟;宁永强;王立军 | 主分类号 | H01S5/12(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/12(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种半导体激光器及其制作方法 至一种半导体激光器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种半导体激光器及其制作方法，该半导体激光器包括：衬底，具有相对的第一表面以及第二表面；位于第一表面的图案化的外延功能层，外延功能层在第一方向上依次划分为高阶光栅耦合脊型波导、光波分束波导、脊型增益阵列波导以及自组织相干合束波导；高阶光栅耦合脊型波导产生单频单模的种子光源；光波分束波导位于高阶光栅耦合脊型波导出射光线的一端，将种子光源分束为多路激光；脊型增益阵列波导位于光波分束波导出射光线的一端，将多路激光进行增益放大；自组织相干合束波导位于脊型增益阵列波导出射光线的一端，将经过增益放大后的多路激光进行相干合成为一束输出光。本发明技术方案提高了输出光束的光束质量以及亮度。 |
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