一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用

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专利名称 一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用 申请号 CN201710128009.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108529885A 公开(授权)日 2018.09.14 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 刘志甫;陈冠羽;李永祥;马名生 主分类号 C03C8/24(2006.01)I IPC主分类号 C03C8/24(2006.01)I;C03C14/00(2006.01)I;C03C10/12(2006.01)I;H01L23/15(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 专利有效期 一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用 至一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用,可阳极键合LTCC材料包含:70~50?wt%的β?LiAlSi2O6微晶玻璃和30~50?wt?%的β?Al2O3陶瓷。本发明与现有的可阳极迁移LTCC材料相比实现半导化的温度低100℃,其键合温度有望降至200℃,键合电压有望降至500?V。

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