一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法

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专利名称 一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法 申请号 CN201711381341.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108286039A 公开(授权)日 2018.07.17 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 杨俊峰;方前锋;杨瑞芳;王先平;张涛;庄瑞斌;宰广平;程帜军 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I 专利有效期 一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法 至一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及其制备方法,该涂层设于各种不同成分的基体上,其结构为A?Mo/Mox1Ay1N1?x1?y1/(Mox3Aly3N(1?x3?y3)/Mox4Aly4Siz4N(1?x4?y4?z4))n,其中,A为基体所含的主要元素,0

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