大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法

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专利名称 大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法 申请号 CN201711352614.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108177047A 公开(授权)日 2018.06.19 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 顿爱欢;邵建达;吴福林;徐学科;陈荣;许振其 主分类号 B24B13/00(2006.01)I IPC主分类号 B24B13/00(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I;B24B13/005(2006.01)I;B24B49/12(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I 专利有效期 大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法 至大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种大尺寸板条状光学元件的加工装置、检测装置和加工方法,该装置包括该加工装置包括拼盘式工装夹具、标准单轴抛光机和检测装置,该检测装置包括竖式干涉仪、电脑控制端以及可调承载车等部件,本发明实现了板条状光学元件拼盘式多件一次性加工,实现了上述拼盘的板条状光学元件整盘面形检测。该发明适用于大尺寸板条状光学元件的批量加工和检测,具有效率高,成本低的特点。

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