专利名称 | 大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法 | 申请号 | CN201711352614.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN108177047A | 公开(授权)日 | 2018.06.19 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 顿爱欢;邵建达;吴福林;徐学科;陈荣;许振其 | 主分类号 | B24B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B13/00(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I;B24B13/005(2006.01)I;B24B49/12(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法 至大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种大尺寸板条状光学元件的加工装置、检测装置和加工方法,该装置包括该加工装置包括拼盘式工装夹具、标准单轴抛光机和检测装置,该检测装置包括竖式干涉仪、电脑控制端以及可调承载车等部件,本发明实现了板条状光学元件拼盘式多件一次性加工,实现了上述拼盘的板条状光学元件整盘面形检测。该发明适用于大尺寸板条状光学元件的批量加工和检测,具有效率高,成本低的特点。 |
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