| 专利名称 | 一种用于真空镀膜的螺杆传送装置 | 申请号 | CN201711219101.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108085647A | 公开（授权）日 | 2018.05.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司;包头希迪瑞科技有限公司 | 发明（设计）人 | 宋振纶;胡方勤;丁雪峰;杨丽景;郑必长;张青科;姜建军 | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于真空镀膜的螺杆传送装置 至一种用于真空镀膜的螺杆传送装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置，包括：样品台，与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合；传送模块，安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区；动力源，固定在真空镀膜腔体外部；第一传动连接件，一端与所述动力源连接，另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接；其特征在于，所述传送模块包括：螺杆，转动安装在所述样品台上，所述螺杆的螺纹作为物料槽；光杆，安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料；第二传动连接件，一端与所述螺杆传动连接，另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接；本发明可实现一次多面镀膜，无需翻面，减少开箱和再次抽真空时间，大大提高了效率，且整体结构简单、加工成本低。 |
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