一种摆臂式轮廓检测的多测头姿态自矫正系统及矫正方法

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专利名称 一种摆臂式轮廓检测的多测头姿态自矫正系统及矫正方法 申请号 CN201711393505.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108020193A 公开(授权)日 2018.05.11 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 熊玲;罗霄;胡海翔;薛栋林;张峰;张学军 主分类号 G01B21/20(2006.01)I IPC主分类号 G01B21/20(2006.01)I 专利有效期 一种摆臂式轮廓检测的多测头姿态自矫正系统及矫正方法 至一种摆臂式轮廓检测的多测头姿态自矫正系统及矫正方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种摆臂式轮廓检测的多测头姿态自矫正系统及矫正方法,所述系统包括工件转台、测量装置,所述工件转台能够绕中心轴旋转;测量装置包括摆臂转台、测量臂、测头装卡微调装置和测头;所述摆臂转台用于带动所述测量臂绕摆臂转台的中心轴旋转;所述测头用于对待测工件的面形参数进行测量,所述测头包括第一测头、第二测头和第三测头;第一测头和第二测头的间距、与第二测头和第三测头的间距相等。矫正系统可以通过工件转台以及摆臂转台的转动,从不同方向采集待测工件的镜面参数,进而根据采集的参数进行方程求解除测试过程的系统误差,有效提高了检测精度。

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