专利名称 | 一种闪存单元器件及闪存 | 申请号 | CN201710297289.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107170744A | 公开(授权)日 | 2017.09.15 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 郝宁;罗家俊;韩郑生;刘海南 | 主分类号 | H01L27/11521(2017.01)I | IPC主分类号 | H01L27/11521(2017.01)I;H01L29/08(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I | 专利有效期 | 一种闪存单元器件及闪存 至一种闪存单元器件及闪存 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种闪存单元器件及闪存,应用于半导体领域,该闪存单元器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底中的沟道区、源区和漏区,源区和漏区分别与沟道区连接,漏区包括多个相互隔离的子漏区;位于沟道区上方的浮栅层和位于浮栅层上方的控制栅层,浮栅层与沟道区之间、浮栅层与控制栅层之间、以及覆盖控制栅层的均为氧化物隔离区域,浮栅层包括多个相互隔离的浮栅块,浮栅块的个数与子漏区的个数相同。通过本发明,只要浮栅层中的浮栅块没有全部损坏,就可以读取到闪存单元器件中保存的数据,因此,增加了闪存单元器件中存储数据的可靠性。 |
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