一种闪存单元器件及闪存

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专利名称 一种闪存单元器件及闪存 申请号 CN201710297289.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107170744A 公开(授权)日 2017.09.15 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 郝宁;罗家俊;韩郑生;刘海南 主分类号 H01L27/11521(2017.01)I IPC主分类号 H01L27/11521(2017.01)I;H01L29/08(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I 专利有效期 一种闪存单元器件及闪存 至一种闪存单元器件及闪存 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种闪存单元器件及闪存,应用于半导体领域,该闪存单元器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底中的沟道区、源区和漏区,源区和漏区分别与沟道区连接,漏区包括多个相互隔离的子漏区;位于沟道区上方的浮栅层和位于浮栅层上方的控制栅层,浮栅层与沟道区之间、浮栅层与控制栅层之间、以及覆盖控制栅层的均为氧化物隔离区域,浮栅层包括多个相互隔离的浮栅块,浮栅块的个数与子漏区的个数相同。通过本发明,只要浮栅层中的浮栅块没有全部损坏,就可以读取到闪存单元器件中保存的数据,因此,增加了闪存单元器件中存储数据的可靠性。

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