| 专利名称 | 一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法 | 申请号 | CN201710279359.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107144210A | 公开（授权）日 | 2017.09.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 张利斌;韦亚一 | 主分类号 | G01B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B7/02(2006.01)I;G01B7/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法 至一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于扫描电子显微测量技术领域，公开了一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法包括：获得待测线条结构的扫描电子显微图像；截取第一区域；沿线条方向平均化处理，获得线条边缘像素分布曲线；根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一边界区域；局域像素分析，获得边界分布；根据所述边界分布，计算待测线条的宽度和粗糙度，提取待测线条宽度和粗糙度数值。本发明解决了现有技术中测量线条宽度和粗糙度工作量较大、存在人为干预造成的测量误差且只能分析有限个数据点的问题，达到了提高测量的准确性和可靠性，节省工程师实际量测时间和成本的技术效果。 |
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