| 专利名称 | 一种用于气相包覆的装置和方法 | 申请号 | CN201610070096.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107022751A | 公开（授权）日 | 2017.08.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘柏男;褚赓;陆浩;罗飞;郑杰允;李泓 | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于气相包覆的装置和方法 至一种用于气相包覆的装置和方法 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于气相包覆的装置，包括用于盛放液体前躯体的罐体，其顶部设置有进气管、进液管和出气管，其底部设置有加热板；出气管设置有喷头，喷头插入反应腔体的一侧中，反应腔体的另一侧通过冷凝装置与引风设备连接；液体前躯体通过进液管进入到罐体内，在罐体内挥发形成气体后，和通过进气管进入罐体的气体混合，再进入出气管，并由喷头喷入到反应腔体内，与反应腔内的包覆对象进行包覆反应；在包覆反应过程中，由冷凝装置冷凝反应腔体内产生的尾气，及由引风设备将未冷凝的气体及时排出。同时本发明还提供了进行气相包覆的方法。采用本发明中的装置和方法能够实现快速、定量且高度安全可控的使用液相或气液复合前驱体的气相包覆。 |
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