一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器

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专利名称 一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器 申请号 CN201510882994.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106841629A 公开(授权)日 2017.06.13 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;北京正旦国际科技有限责任公司 发明(设计)人 李铁;王伊;高安然;张东伟;杨勋 主分类号 G01N33/68(2006.01)I IPC主分类号 G01N33/68(2006.01)I 专利有效期 一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器 至一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及生物传感技术领域,特别是涉及一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器。本发明采用硅纳米线作为换能器,其比表面积高,对表面电荷密度改变极为敏感,可实现气相条件下气味分子的高灵敏检测,检测灵敏度达到ppb量级;工艺过程简单,可控性强,可与现有半导体工艺完全兼容;成本较低,适于批量生产。

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