| 专利名称 | 一种用于扫描哈特曼检测装置的误差解耦的方法 | 申请号 | CN201711172700.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108151888A | 公开（授权）日 | 2018.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 胡海翔;魏海松;张学军;闫锋;程强 | 主分类号 | G01J9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/00(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于扫描哈特曼检测装置的误差解耦的方法 至一种用于扫描哈特曼检测装置的误差解耦的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明实施例公开了一种用于扫描哈特曼检测装置的误差解耦的方法。该方法的步骤包括：基于斜率泽尼克多项式构建波前重构数学模型；拟合模式在斜率泽尼克多项式的基础上，增加光管阵列倾斜项；解耦运动误差，输出重构波前像差。本发明实施例采用光管阵列拼接检测大口径光学系统，通过引入基于斜率泽尼多项式拟合的误差解耦，剔除了光管阵列在扫描检测过程中的机械运动误差，从而大幅地提高了检测精度。 |
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