用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法

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专利名称 用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法 申请号 CN201711186414.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108085684A 公开(授权)日 2018.05.29 申请(专利权)人 中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 初青伟;谭腾;何源;郭浩;熊平然;游志明 主分类号 C23F1/26(2006.01)I IPC主分类号 C23F1/26(2006.01)I 专利有效期 用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法 至用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法,所述化学退镀液包括:质量浓度为0.1?0.5%的间硝基苯磺酸盐、质量浓度为1.0?4.0%的氢氟酸和质量浓度为0.8?2.0%的氟硼酸。本发明在不损伤铜基材表面的情况下,可以简单、迅速、稳定、完全去除铜基材表面的铌镀层,完好地回收利用已镀铌膜的铜制品。

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