| 专利名称 | 平面镜面形检测方法及装置 | 申请号 | CN201711181581.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107869965A | 公开（授权）日 | 2018.04.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 安其昌;张景旭;杨飞;赵宏超 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 平面镜面形检测方法及装置 至平面镜面形检测方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种平面镜面形检测方法及装置，该方法包括：将待检平面镜固定于平面镜检测台，待检平面镜的镜面划分为多个子孔径，相邻的子孔径间具有交叠区域；利用标准球面反射镜和球面干涉仪，采用瑞奇?康芒法分别测量各个子孔径的面形数据，得到各个子孔径的面形数据；将各个子孔径的面形数据进行拼接，得到待检测平面镜的面形数据。本发明将瑞奇?康芒法与子孔径法结合，将大口径的待检平面镜的镜面划分为多个子孔径，利用瑞奇?康芒法的原理，采用小口径的标准球面反射镜对各个子孔径的面形数据进行测量，将各个子孔径的面形数据进行拼接，得到待检测平面镜整体的面形数据，在不增加检测成本的基础上，实现了大口径平面镜的面形检测。 |
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