专利名称 | 一种X射线波带片的制备方法 | 申请号 | CN201710957398.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107833649A | 公开(授权)日 | 2018.03.23 | 申请(专利权)人 | 中国科学院电工研究所 | 发明(设计)人 | 孔祥东;门勇;李艳丽;许壮;韩立 | 主分类号 | G21K1/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G21K1/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种X射线波带片的制备方法 至一种X射线波带片的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种X射线波带片的制备方法,采用原子层沉积(ALD)方法在直径为微米级的金属丝表面交替沉积氧化铝/氧化铪,或者氧化铝/铱等两种密度不同、厚度不同的薄膜,即第一层沉积氧化铝薄膜,第二层沉积氧化铪薄膜或铱薄膜,如此交替循环,形成一系列同心圆环。镀膜完成后利用聚焦离子束对镀膜后金属丝进行切割、抛光,最终得到所需厚度和精度的波带片。本发明适合于多种波带片的制备。 |
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