一种X射线波带片的制备方法

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专利名称 一种X射线波带片的制备方法 申请号 CN201710957398.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107833649A 公开(授权)日 2018.03.23 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所 发明(设计)人 孔祥东;门勇;李艳丽;许壮;韩立 主分类号 G21K1/06(2006.01)I IPC主分类号 G21K1/06(2006.01)I 专利有效期 一种X射线波带片的制备方法 至一种X射线波带片的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种X射线波带片的制备方法,采用原子层沉积(ALD)方法在直径为微米级的金属丝表面交替沉积氧化铝/氧化铪,或者氧化铝/铱等两种密度不同、厚度不同的薄膜,即第一层沉积氧化铝薄膜,第二层沉积氧化铪薄膜或铱薄膜,如此交替循环,形成一系列同心圆环。镀膜完成后利用聚焦离子束对镀膜后金属丝进行切割、抛光,最终得到所需厚度和精度的波带片。本发明适合于多种波带片的制备。

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