一种微流道结构及其制备方法

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专利名称 一种微流道结构及其制备方法 申请号 CN201710750856.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107497507A 公开(授权)日 2017.12.22 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所;昆山光微电子有限公司 发明(设计)人 毛海央;李锐锐;杨宇东 主分类号 B01L3/00(2006.01)I IPC主分类号 B01L3/00(2006.01)I 专利有效期 一种微流道结构及其制备方法 至一种微流道结构及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种微流道结构,尤其是一种微流道结构及其制备方法,属于微流道的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述微流道结构,包括微流道衬底;还包括设置于微流道衬底上的图形化烛灰纳米颗粒层,利用所述图形化烛灰纳米颗粒层能在微流道衬底上形成所需的表面微流道阵列。本发明结构紧凑,能实现试剂中生物、化学相关物质在基底表面的图形化,制备工艺简单易行,适用的生物、化学物质范围广,衬底材料的可选择范围宽,具有普遍适用性,安全可靠。

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