一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法

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专利名称 一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 申请号 CN201710389877.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107142503A 公开(授权)日 2017.09.08 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 刘志权;高丽茵 主分类号 C25D3/56(2006.01)I IPC主分类号 C25D3/56(2006.01)I;C22C45/02(2006.01)I;C22C45/04(2006.01)I 专利有效期 一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 至一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法,属于电沉积技术领域。本发明以乳酸和EDTA作为络合剂,镀液其余组分为亚铁盐、镍盐、NaH2PO2、RECl3、H3BO3及添加剂。使用以乳酸及乙二胺四乙酸作为络合剂的镀液,电沉积得到Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层,该镀层中铁含量为5%?90%,镍含量为5%?90%,铁和镍含量之和为80%?92%,稀土元素的质量百分比为0?5%,余量为磷。本发明通过调试镀液温度、电流密度和pH等工艺条件,成功制备了具有优异软磁性能的Fe?Ni?P(RE)合金薄膜,应用于微电子以及半导体功能器件领域。

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