专利名称 | 一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 | 申请号 | CN201710389877.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107142503A | 公开(授权)日 | 2017.09.08 | 申请(专利权)人 | 中国科学院金属研究所 | 发明(设计)人 | 刘志权;高丽茵 | 主分类号 | C25D3/56(2006.01)I | IPC主分类号 | C25D3/56(2006.01)I;C22C45/02(2006.01)I;C22C45/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 至一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法,属于电沉积技术领域。本发明以乳酸和EDTA作为络合剂,镀液其余组分为亚铁盐、镍盐、NaH2PO2、RECl3、H3BO3及添加剂。使用以乳酸及乙二胺四乙酸作为络合剂的镀液,电沉积得到Fe?Ni?P或Fe?Ni?P?RE非晶合金镀层,该镀层中铁含量为5%?90%,镍含量为5%?90%,铁和镍含量之和为80%?92%,稀土元素的质量百分比为0?5%,余量为磷。本发明通过调试镀液温度、电流密度和pH等工艺条件,成功制备了具有优异软磁性能的Fe?Ni?P(RE)合金薄膜,应用于微电子以及半导体功能器件领域。 |
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