| 专利名称 | 一种超导腔氮掺杂方法 | 申请号 | CN201711479415.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108277450A | 公开（授权）日 | 2018.07.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院高能物理研究所 | 发明（设计）人 | 沙鹏;刘佰奇;董超;郑洪娟;米正辉;翟纪元 | 主分类号 | C23C8/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C8/24(2006.01)I;C23C8/02(2006.01)I;C23F3/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种超导腔氮掺杂方法 至一种超导腔氮掺杂方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种超导腔氮掺杂方法。本方法为：1)将超导腔整体放入超声清洗池进行清洗，再用纯水将超导腔内、外均冲洗干净、晾干；然后对超导腔的内表面进行缓冲化学抛光；然后清洗超导腔内表面、晾干；2)将步骤1)处理后的所述超导腔放入真空炉中进行加热，加热至设定温度后，在该设定温度和压力对真空炉进行除氢处理；3)除氢处理结束后，将真空炉的抽气阀门关闭，注入高纯氮气且真空炉内压力保持在2～4Pa，将氮掺入超导腔表面；4)氮气注入结束后，对真空炉进行除氮气处理；5)除氮气处理结束后，对真空腔保温设定时间，完成超导腔的氮掺杂。本发明能够进一步降低超导腔的表面电阻，从而减小超导腔的功耗。 |
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