一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法

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专利名称 一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法 申请号 CN201610937184.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108004592A 公开(授权)日 2018.05.08 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 曹逊;金平实;孙光耀 主分类号 C30B29/22(2006.01)I IPC主分类号 C30B29/22(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I 专利有效期 一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法 至一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法,所述薄膜采用脉冲激光沉积法制得,化学组成为Bi6Ti3Fe2O18。本发明的Bi6Ti3Fe2O18层状多铁薄膜物相纯度高,XRD表征结果无杂相,且TEM结果表明薄膜具有良好外延特性,铁电性能良好且同时具备可观的铁磁性,是优异的室温多铁薄膜材料,非常有利于新型多铁薄膜的研发与推广。

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