| 专利名称 | 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法 | 申请号 | CN201710125859.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106840051A | 公开（授权）日 | 2017.06.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 白震;梁鑫;魏劲松 | 主分类号 | G01B11/30(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/30(2006.01)I | 专利有效期 | 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法 至电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法，包括自动聚焦光路的构建，自动检测算法的实现，对电机位移平台运动平整度的测量，数据的记录和拟合等步骤。通过激光、四象限探测器、像散透镜等构建一个自动聚焦光路，通过算法编程实现自动检测。当电机位移平台开始移动的时候，通过自动检测系统检测电机平台在运动过程中上下振动的幅度，记录并绘制位移平台在不同位置的振动幅度。本发明简单实用，操作便捷，实现了在非接触式的情况下对电机位移平台运动平整度的测量，具有很高的应用价值。 |
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