| 专利名称 | 具有微孔微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置 | 申请号 | CN201810521198.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108770174A | 公开（授权）日 | 2018.11.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘新宇;汤益丹;王盛凯;白云;杨成樾 | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 专利有效期 | 具有微孔微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置 至具有微孔微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种具有微孔/微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置，包括外腔体和设置在所述外腔体内的多个微孔/微纳结构双耦合谐振腔，其中所述谐振腔包括一圆柱形腔体，所述圆柱形腔体的周壁上均匀分布由多个微孔形成的微孔阵列，所述微孔的直径是波长的奇数倍，所述腔体的内壁上具有金属微纳结构，所述金属微纳结构的周期尺寸为λ/n，λ为入射波长，n为谐振腔材料的折射率。本发明通过优化设计双耦合谐振方式，来减少引导模和泄漏模的损耗，达到在固定区域谐振最大程度增强的目的，并能提高等离子体的均匀性，保证光耦合和场空间局域增强特性的前提下，可改善吸收损耗问题，另外多个谐振腔独立控制，可以有效控制等离子体的温度。 |
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