| 专利名称 | 通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法 | 申请号 | CN201810489193.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108681214A | 公开（授权）日 | 2018.10.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 魏劲松;丁晨良;王正伟 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I | 专利有效期 | 通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法 至通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法，通过将单光束点扫描光刻或者成像系统中的扩束镜替换为电动可调倍率扩束镜，进而根据相关计算公式，调节扩束比例来实现聚焦光斑直径的连续可调。本发明可以在单光束点扫描光刻或者成像系统中提供直径连续可调的光斑，快速、简便地实现跨尺度的光刻和多分辨率光学成像。 |
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