| 专利名称 | 一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法 | 申请号 | CN201810326897.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108660426A | 公开（授权）日 | 2018.10.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院生物物理研究所;北京大学 | 发明（设计）人 | 黄小俊;张雷;季刚;孙飞;尹长城 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法 至一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，包括以下步骤：将带有微阵列孔的模板通过真空喷镀一层亲水剂；采用喷镀或磁控溅射的方法，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜；通过将沉积有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入水中，进行所述模板与所述镍钛合金薄膜之间的分离；将与所述模板分离后的所述镍钛合金薄膜从水中取出，再进行室温静置干燥后，即可得到镍钛非晶合金微阵列支持膜。本发明通过将带有微阵列孔的模板真空喷镀一层亲水剂，来使模板和在其表面沉积的镍钛合金薄膜能够在水中进行分离，来得到镍钛非晶合金微阵列支持膜，进而打破了制备镍钛非晶合金微阵列支持膜的技术空白。 |
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