法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置及方法

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专利名称 法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置及方法 申请号 CN201810322100.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108507616A 公开(授权)日 2018.09.07 申请(专利权)人 中国科学院武汉物理与数学研究所 发明(设计)人 黄学人;汪绍茂;曹健;舒华林;崔凯枫;晁思嘉;张平;袁金波;刘道信;孙成龙 主分类号 G01D21/02(2006.01)I IPC主分类号 G01D21/02(2006.01)I 专利有效期 法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置及方法 至法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置,包括负极衍射调制器、正极衍射调制器、法布里珀罗腔、分光镜、PD探测器、示波器、CCD相机、显示器和激光器。本发明还公开了法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量方法,本发明装置光路、电路简单,不需要真空、隔振装置,不需要使用PDH激光稳频技术,测量超稳法布里珀罗腔的零膨胀温度点和腔镜细度的过程简单、快速、准确、重复性高。

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