氮化物半导体发光器件及其制作方法

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专利名称 氮化物半导体发光器件及其制作方法 申请号 CN201710022586.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108305918A 公开(授权)日 2018.07.20 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 孙钱;冯美鑫;周宇;高宏伟;杨辉 主分类号 H01L33/00(2010.01)I IPC主分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/16(2010.01)I;H01L33/20(2010.01)I;H01L33/44(2010.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/30(2006.01)I 专利有效期 氮化物半导体发光器件及其制作方法 至氮化物半导体发光器件及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本申请公开了一种氮化物半导体发光器件及其制作方法。所述氮化物半导体发光器件包括外延结构,所述外延结构具有第一面和与第一面相背对的第二面,所述第一面为面并位于所述外延结构的n型侧,所述第二面位于所述外延结构的p型侧,所述外延结构的n型侧与n型电极电性接触,p型侧与p型电极电性接触,并且所述第一面形成有脊型波导结构。本申请的氮化物半导体发光器件,特别是III?V族氮化物半导体激光器或超辐射发光二极管具有电阻低、内损耗低、阈值电流小、热阻小、稳定性和可靠性好等优点,同时其制备工艺简单易实施。

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