一种红外探测器及其制备方法

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专利名称 一种红外探测器及其制备方法 申请号 CN201611160619.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108231926A 公开(授权)日 2018.06.29 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 黄勇;熊敏;杨辉 主分类号 H01L31/0352(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/109(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 一种红外探测器及其制备方法 至一种红外探测器及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及半导体技术领域,尤其是一种红外探测器,从下至上依次包括:衬底、p型InAs/GaSb超晶格下接触层、p型InAs/GaSb超晶格吸收层、InGaAs/InAs/InAsSb/InAs/InGaAs超晶格势垒层、p型InAs/GaSb超晶格上接触层;以及,设置于p型InAs/GaSb超晶格下接触层的上端面的下电极和设置于p型InAs/GaSb超晶格上接触层的上端面的上电极。本发明使用无Al的InGaAs/InAs/InAsSb/InAs/InGaAs?W型超晶格作为势垒层,材料容易外延生长,并且长期稳定性和可靠型较高。

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