| 专利名称 | 一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法 | 申请号 | CN201810005342.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108214955A | 公开（授权）日 | 2018.06.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 陈辉;庄击勇;黄维;卓世异;王乐星;施尔畏 | 主分类号 | B28D5/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B28D5/04(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法 至一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法，该定向切割装置包括：夹持晶锭的夹具；控制首片厚度的影像监测系统，以及对所述晶锭进行切割的多线切割机，夹持晶锭的所述夹具包括支架和支撑所述支架的基座，所述影像监测系统将所述多线切割机的线间距与待切的所述晶锭的首片厚度的图谱比对以调整切割位置。本发明可有效控制氮化镓晶锭首片的切割厚度。 |
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