| 专利名称 | 平板类光学元件环形抛光面形精调方法 | 申请号 | CN201711330838.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108177027A | 公开（授权）日 | 2018.06.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨明红;邵建达;张弛豪;吴伦哲;徐学科 | 主分类号 | B24B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B1/00(2006.01)I;B24B13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 平板类光学元件环形抛光面形精调方法 至平板类光学元件环形抛光面形精调方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种平板类光学元件环形抛光面形精调方法，利用平板类光学元件在环抛过程中的热变形来调节其反射/透射面形变化，在抛光模面形保形期创造一种快速、可控的元件面形高低转化，能够大幅提升该类元件环形抛光反射/透射波前分布控制效率。本发明特别适用于热膨胀系数大、易变形的平板类光学元件，如400mm口径激光钕玻璃片状元件，有效克服了该类元件环形抛光过程中面形控制的不确定性，米量级平板类光学元件的加工精度，面形PV优于1/5λ(λ＝632.8nm)，GRMS优于1/90λ。 |
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