激光介入微细电解加工方法及其装置

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专利名称 激光介入微细电解加工方法及其装置 申请号 CN201711136281.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107971592A 公开(授权)日 2018.05.01 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 张文武;王玉峰 主分类号 B23H7/38(2006.01)I IPC主分类号 B23H7/38(2006.01)I;B23H9/14(2006.01)I 专利有效期 激光介入微细电解加工方法及其装置 至激光介入微细电解加工方法及其装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本申请公开了一种激光介入微细电解加工方法,至少包括以下步骤:工具电极和待加工工件分别与电源的负极和正极连接;激光和电解液通过工具电极传输至待加工工件的加工区域;接通电源后进行微细电解加工,工具电极向待加工工件进给,得到目标结构。本申请中的方法以及激光介入微细电解加工装置中,激光光束通过液核光纤以全反射传输至较深的加工区域,实现了激光能量场与电化学加工的大深度耦合,可实现大深径比微细结构的高效率加工。

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