反相器及其制作方法

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专利名称 反相器及其制作方法 申请号 CN201610591444.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107644878A 公开(授权)日 2018.01.30 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 竺立强;晁晋予;肖惠 主分类号 H01L27/12(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I 专利有效期 反相器及其制作方法 至反相器及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种反相器,包含晶体管与电阻,其中,晶体管包含:双电层栅介质层、位于双电层栅介质层的一侧的栅电极,以及位于双电层栅介质层的另一侧的至少一个侧向调控端、沟道、源极与漏极,其中,沟道分别与源极、漏极接触;并且,侧向调控端均不与沟道、源极与漏极电联通;并且电阻的一端与漏极电联通,另一端用于施加电源电压VDD;晶体管的栅电极作为输入端,漏极作为输出端,源极接地,至少一个侧向调控端用于施加固定偏压Vm,固定偏压Vm用于调整晶体管的阈值电压。本发明能够极大降低反相器的工作电压,降低制造成本,并能够实现反相器的平衡噪音容限,改善反相器的电学特性。

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