| 专利名称 | 一种大口径偏摆镜 | 申请号 | CN201710623384.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107526159A | 公开（授权）日 | 2017.12.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 石磊;许永森;沈宏海;刘伟毅;刘福贺 | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/08(2006.01)I;G02B7/198(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大口径偏摆镜 至一种大口径偏摆镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种大口径偏摆镜，包括：反射镜组件，所述反射镜组件包括金属平面反射镜和反射镜支撑结构件，所述金属平面反射镜和所述反射镜支撑结构件为通过激光焊接连接；反射镜组件支撑座，用于安装所述反射镜组件；底座，所述反射镜组件支撑座通过两自由度柔性支撑结构件安装在所述底座上，反射镜组件能绕相互垂直的X轴和Y轴进行转动；音圈电机，所述音圈电机的动子安装在所述反射镜组件支撑座上，所述音圈电机的定子安装在所述底座上。本发明的大口径偏摆镜，金属平面反射镜和反射镜支撑结构两者材料相同，通过均布点处的激光焊接进行连接，组成反射镜组件，能在?50℃～70℃工作温度范围内保证金属平面反射镜的镜面面形精度RMS值优于1/30λ(λ＝632.8nm)。 |
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