用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法

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专利名称 用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法 申请号 CN201610427573.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107515316A 公开(授权)日 2017.12.26 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 李健梅;孙丽欢;唐向前;陆兴华 主分类号 G01Q60/16(2010.01)I IPC主分类号 G01Q60/16(2010.01)I 专利有效期 用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法 至用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法。一种用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置包括:电路模块,包括电路单元和数据采集卡,电路单元包括P型晶体管和N型晶体管,P型晶体管的源极接收来自数据采集卡的第一输出端子的电源电压,P型晶体管的漏极连接到N型晶体管的漏极和待蚀刻的针尖,P型晶体管的栅极连接到N型晶体管的栅极,N型晶体管的源极连接到地电势,电路单元还包括比较器,比较器的正极输入接收来自数据采集卡的第二输出端子的参考电压,比较器的负极输入接收来自阴极电极的蚀刻电压,比较器的输出被提供给P型晶体管和N型晶体管二者的栅极;以及控制模块,其连接到数据采集卡以控制数据采集卡的各个输出。

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