专利名称 | 用于KDP类晶体的油浴退火炉 | 申请号 | CN201710576931.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107475776A | 公开(授权)日 | 2017.12.15 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;杭州锐研科技有限公司 | 发明(设计)人 | 齐红基;陈端阳;邵建达;谢晓义;王琤;王明明;高杰;赵波;张辉;郑丽丽 | 主分类号 | C30B33/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/14(2006.01)I | 专利有效期 | 用于KDP类晶体的油浴退火炉 至用于KDP类晶体的油浴退火炉 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于KDP类晶体的油浴退火炉,包括保温筒、保温盖,在保温筒内设有内筒,在保温筒的内壁上安装有加热器,在内筒内设有晶体支撑板,还包括搅拌叶轮和固定在所述的保温盖上的搅拌电机,该搅拌叶轮由搅拌电机带动,在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环,保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道,内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连,出油管的出油端与油泵的进口连接,在出油管旁边安装进油管,进油管的进油端与油泵的出口相连,进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性,试验结果表明,待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.05℃以内,可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。 |
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