专利名称 | 一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201710574964.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107354442A | 公开(授权)日 | 2017.11.17 | 申请(专利权)人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明(设计)人 | 柯培玲;汪爱英;王鑫;张栋;王振玉 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法 至一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层,由V、Al、C元素组成,Al原子固溶在VC晶格中,主要形成面心立方结构的纳米柱状晶VAlC,其中V含量在30%~40%,Al在15%~20%,C在40%~55%,并且该纳米晶VAlC的直径为10~20nm。该涂层是一种硬且韧的减磨硬质涂层,降低了磨屑与基体的粘着,延长了基体的使用寿命。本发明还提供了一种制备该涂层的方法,采用直流磁控溅射法,以V2AlC为靶材料,通过CH4气体调控碳成分,对VAlC涂层结构进行调整,形成晶粒细小的纳米柱状晶VAlC涂层。 |
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