| 专利名称 | 一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201710548160.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107328449A | 公开（授权）日 | 2017.11.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 王家畴;薛丹;李昕欣 | 主分类号 | G01F1/688(2006.01)I | IPC主分类号 | G01F1/688(2006.01)I | 专利有效期 | 一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法 至一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法，结构包括：衬底，具有一凹槽，开设于衬底上表面；第一介质膜，覆盖于凹槽上方，与衬底相连接，且与衬底共同围成一个隔热腔体；加热元件，位于第一介质膜表面；至少两个感测元件，位于第一介质膜上，且设置于加热元件两侧，包括至少一组单晶硅?金属热偶对组，单晶硅?金属热偶对组包括若干个单晶硅?金属热偶对。通过上述方案结合本发明的单硅片单面制作技术，在普通单晶硅片上加工出赛贝克系数最高的P型单晶硅?金热偶对，并将热偶对以及加热元件通过隔热腔体与衬底隔离，最大程度降低了加热电阻的热耗散，提高了传感器的检测灵敏度。此外，本发明传感器尺寸小、成本低、适于大批量生产。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障