| 专利名称 | 一种产生短波长深紫外激光的装置 | 申请号 | CN201710615890.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107293935A | 公开（授权）日 | 2017.10.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 宗楠;李玉娇;王志敏;张申金;杨峰;张丰丰;彭钦军;许祖彦;薄勇 | 主分类号 | H01S3/109(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/109(2006.01)I;H01S3/108(2006.01)I;H01S3/16(2006.01)I;H01S3/11(2006.01)I | 专利有效期 | 一种产生短波长深紫外激光的装置 至一种产生短波长深紫外激光的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种产生短波长深紫外激光的装置，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及和频系统，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到调频范围较宽的深紫外激光。 |
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