芯片尺寸级深紫外发光二极管共晶封装方法

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专利名称 芯片尺寸级深紫外发光二极管共晶封装方法 申请号 CN201710399111.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107256911A 公开(授权)日 2017.10.17 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 谢海忠;闫建昌;魏学成;魏同波;宋昌斌;张韵;王军喜;李晋闽 主分类号 H01L33/00(2010.01)I IPC主分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/48(2010.01)I;H01L33/58(2010.01)I 专利有效期 芯片尺寸级深紫外发光二极管共晶封装方法 至芯片尺寸级深紫外发光二极管共晶封装方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种芯片尺寸级深紫外发光二极管共晶封装方法,包括以下步骤:将P、N电极分开的深紫外芯片固定在石英透镜上;在深紫外芯片侧面填充液体胶,使得液体胶的上表面与所述深紫外芯片的P、N电极平齐,并固化液体胶;将第一AuSn片固定在所述深紫外芯片P、N电极上方并且覆盖在液体胶上表面,并预留P、N电极的隔离道;将第二AuSn片固定在基板上,所述第二AuSn片与所述第一AuSn片上下对齐;将所述第一AuSn片和所述第二AuSn片共晶融合,完成封装。本发明将芯片尺寸工艺用在深紫外LED封装上,提高了封装效率,降低了封装成本;共晶封装工艺解决了深紫外LED芯片的散热问题,提高了深紫外LED的寿命。

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