| 专利名称 | 三维磁场测量组件及制备方法 | 申请号 | CN201710372145.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107229021A | 公开（授权）日 | 2017.10.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 王会武;张栖瑜;刘全胜;应利良;王镇 | 主分类号 | G01R33/035(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R33/035(2006.01)I | 专利有效期 | 三维磁场测量组件及制备方法 至三维磁场测量组件及制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种三维磁场测量组件及制备方法，组件至少包括：衬底、制备在所述衬底上第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈，其中，所述第一探测线圈与第一SQUID器件相连，且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行；所述第二探测线圈与第二SQUID器件相连，且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行；所述第三探测线圈与第三SQUID器件相连，且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行。本发明在同一个衬底上制备了3个SQUID器件，且每个SQUID器件探测1个空间方向的磁场，这种方法省略了现有技术组件中的立方体结构，减小了三维磁场探测组件的体积和安装难度，降低了制备成本，缩小了三个器件之间非正交性误差。 |
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