| 专利名称 | 利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统 | 申请号 | CN201610178483.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107228957A | 公开（授权）日 | 2017.10.03 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心;中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 许瑞;程志海;郇庆;刘利;郑志月 | 主分类号 | G01Q60/04(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/04(2010.01)I | 专利有效期 | 利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统 至利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统，能够利用STM的电流信号对AFM信号进行测量。所述系统主要包括：力学传感器、高带宽电流放大器、非正弦周期信号处理模块、AFM振幅采集器、AFM频率采集器、电流采集器、乘法器、低通滤波器、PI控制模块、压控振荡器、振幅控制模块、差频输出模块和z控制模块。摘要附图中以音叉型微悬臂作为力学传感器为例给出技术原理图：首先利用压控振荡器使微悬臂以频率f0震荡。样品加电压，在针尖上引导线取得针尖?样品间的隧道电流，经高带宽电流放大器得到实时隧道电流，将其输入非正弦周期信号处理模块，后续分析得到AFM振幅A1、频率fsample、STM隧道电流；进而用隧道电流或Δf作为反馈实现扫描。 |
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