一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法

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专利名称 一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法 申请号 CN201710179793.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107043929A 公开(授权)日 2017.08.15 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 王栋;赵智豪;万立骏 主分类号 C23C18/31(2006.01)I IPC主分类号 C23C18/31(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I 专利有效期 一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法 至一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种在原子力显微镜(AFM)探针表面可控区域生成金属镀层的方法,所述方法是利用化学还原处理的方法在AFM探针针尖表面上进行金属沉积,所述方法制备得到的金属膜层,具有成本低,膜层致密,重现性高和对环境友好等特点。所述方法是通过准确控制AFM针尖扎入含氟化氢的薄膜的深度,在探针针尖表面得到不同大小的活化区域;再将其浸入含有金属离子的盐溶液内进行化学还原反应,通过准确控制沉积时间以及改变金属离子浓度,可以获得不同金属和不同厚度的镀层。因此,通过控制实验中的不同条件,采用化学镀的方法对商品化的AFM针尖进行金属的沉积,可以获得不同性质的光滑TERS针尖。

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