一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器

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专利名称 一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器 申请号 CN201710304793.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107039884A 公开(授权)日 2017.08.11 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 朱忠赟珅;宋禹忻;李耀耀;韩奕;张振普;张立瑶;王庶民 主分类号 H01S5/34(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/34(2006.01)I 专利有效期 一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器 至一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种基于张应变Ge纳米线的有源区结构及激光器,该有源区结构包括第一势垒层、Ge纳米线和第二势垒层,所述Ge纳米线位于所述第一势垒层和所述第二势垒层之间。本发明通过将现有的CMOS工艺相兼容Ge材料转化为直接带隙,克服了硅不能直接带隙以及III?V族发光器件与现有的CMOS工艺不兼容的问题,同时也有利于单片集成,降低成本,促进光通信行业的良性发展。

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