| 专利名称 | 一种光学测量台架装置 | 申请号 | CN201710116192.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107014589A | 公开（授权）日 | 2017.08.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 齐威;齐月静;王宇;卢增雄 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学测量台架装置 至一种光学测量台架装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种光学测量台架装置，该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克?哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题，并且具有一定范围的调节行程，兼容不同焦距的透镜组。该台架装置中心留有较大的安装孔，通过转接法兰，兼容不同直径的镜头，且设计布局开放，便于拆卸及集成安装。 |
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