| 专利名称 | 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅 | 申请号 | CN201710368980.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106959482A | 公开（授权）日 | 2017.07.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;王冠亚;李海亮;牛洁斌;刘明 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅 至一种用于极紫外的二维单级衍射光栅 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种极紫外光的二维单级衍射光栅，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅条均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光栅条相对的两边均为锯齿形；且所述透光栅条在所述第一方向上的宽度处处相同。本发明技术方案通过锯齿形的透光栅条与不透光栅条实现衍射，透光栅条的宽度不变，并设置随机分布的透光栅条，使得不透光栅条的宽度满足预设的随机分布，可以在实现对预设波段实现衍射的同时消除高次谐波。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障