| 专利名称 | 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 | 申请号 | CN201710287115.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106887788A | 公开（授权）日 | 2017.06.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张星;钟础宇;张建伟;宁永强;王立军 | 主分类号 | H01S5/183(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/183(2006.01)I | 专利有效期 | 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 至一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层，功能辅助层和P型DBR层构成台面结构；P型DBR层设置有沟道；台面结构被沟道分割成多个次台面结构；各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极，这样利用沟道可以形成多个波导，使载流子分布和波导联系起来，进而实现单个电极独立控制单个模式输出，多个电极混合控制少数模式输出。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，可以直接在台面结构上刻蚀形成沟道，实现了新的模式控制方式，且由于所有模式都在一个台面上输出，可以直接与光纤耦合，省去复用器的使用。 |
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