一种基于腔衰荡光谱技术的双组分痕量气体浓度测量装置

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专利名称 一种基于腔衰荡光谱技术的双组分痕量气体浓度测量装置 申请号 CN201611140479.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106841106A 公开(授权)日 2017.06.13 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 余锦;王金舵;貊泽强;何建国 主分类号 G01N21/39(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/39(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 专利有效期 一种基于腔衰荡光谱技术的双组分痕量气体浓度测量装置 至一种基于腔衰荡光谱技术的双组分痕量气体浓度测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种基于腔衰荡光谱技术的双组分痕量气体浓度测量装置,包括第一可调谐连续激光器、第二可调谐连续激光器、第一模式匹配系统、第二模式匹配系统、谐振腔、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第一窄带滤光片、第二窄带滤光片、第一光电探测器、第二光电探测器、激光器控制器和信号采集分析控制系统;通过使用高精细度四镜环形稳定腔,在实现双组分痕量气体浓度同步在线测量的同时,节省了光隔离器、激光合束器、分光器等元器件,结构紧凑,且成本较低。

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