| 专利名称 | 干涉仪光学系统 | 申请号 | CN201611133620.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106767390A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 王飞;史振广;田伟;隋永新 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 干涉仪光学系统 至干涉仪光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供的一种干涉仪光学系统，包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件，所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入所述显微物镜，经所述显微物镜的分光面分光后，一部分光线反射到所述显微物镜的参考反射面，经所述参考反射面反射返回，另一部分光线透过所述显微物镜的分光面到达被测面，经被测面反射返回，再次穿过所述分光面后与经所述参考反射面反射的光线重合，发生干涉并经所述分光镜反射后进入所述电荷耦合元件，产生干涉图样，本发明元件少，结构简单，易于保证镜筒机械加工精度，降低装调难度。 |
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