| 专利名称 | 一种基体表面的VC/a?C:H纳米复合涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201611048879.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106756816A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 姜欣;王永欣;鲁侠;李金龙;王立平 | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基体表面的VC/a?C:H纳米复合涂层及其制备方法 至一种基体表面的VC/a?C:H纳米复合涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种VC/a?C:H纳米复合涂层，由硬质相纳米晶VC与润滑相非晶a?C:H组成，并且以a?C:H为基质，纳米晶VC弥散于该基质中，不仅保持了传统VC硬质涂层高硬度、低磨损的特点，同时具有a?C:H材料优异的自润滑特性，对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用，具有很好的应用价值。本发明还提供采用采用多弧离子镀技术，以金属V为靶材，C2H2为反应气体，通过控制V靶电流和/或碳源C2H2的气体流量可调控涂层中V元素与C元素含量，进而调控涂层中VC相与a?C:H相的含量。 |
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